平台立足于微纳加工技术前沿及半导体器件产业发展趋势，积极布局先进微电子器件、光电子繁件、MEMS&NEMS器件、柔性器件、3D混合集成器件等领域，以满足电子信息、先进显示、人丁智能、清洁能源、新概念材料加工等技术发展对于微纳加工的需求，目标建成集先进材料加工，器件工艺制备、及特殊工艺开发为一体的综合性研发平台，实现新材料从微米到纳米甚至原子级别的结构与器件的可控加工与测试，并可为客户提供个性化的工艺技术服务及器件解决方案.
平台立足于微纳加工技术前沿及半导体器件产业发展趋势，积极布局先进微电子器件、光电子繁件、MEMS&NEMS器件、柔性器件、3D混合集成器件等领域，以满足电子信息、先进显示、人丁智能、清洁能源、新概念材料加工等技术发展对于微纳加工的需求
平台立足于微纳加工技术前沿及半导体器件产业发展趋势，积极布局先进微电子器件、光电子繁件、MEMS&NEMS器件、柔性器件、3D混合集成器件等领域，以满足电子信息、先进显示、人丁智能、清洁能源、新概念材料加工等技术发展对于微纳加工的需求
