平台立足于微纳加工技术前沿及半导体器件产业发展趋势，积极布局先进微电子器件、光电子繁件、MEMS&NEMS器件、柔性器件、3D混合集成器件等领域，以满足电子信息、先进显示、人丁智能、清洁能源、新概念材料加工等技术发展对于微纳加工的需求