创新样板工厂

非晶智芯团队

Smart Materials and Sensor Devices Group

关于项目

About Project
  • 项目介绍
    Summary
  • 项目意义
    Project Significance

本项目针对高阻抗变化率非晶丝材料及其磁性能优化、GMI-MEMS制造工艺以及 SoC 集成方面进行了深入研发。开发出了高阻抗变化率的非晶丝材料,并具备批量制备能力;利用该高性能非晶丝材料,配合精密线圈绕组及装配工艺,结合低噪声模拟电路设计,开发了pT级极高灵敏度弱磁传感器模组,并在国防、智能电网、航空航天、智慧交通、高端医疗等领域进行了应用示范;基于典型的非硅MEMS工艺,通过电镀、磁控溅射,结合LIGA深刻蚀技术以及GMI非晶丝高精度装配,研发了国内首个GMI-MEMS弱磁芯片;依托松山湖材料实验室完备的材料分析、表征和半导体加工条件,采用SIP封装技术,完成了GMI-MEMS和ASIC信号处理电路的SoC片上集成。

团队经过多年的技术积累,已形成面向不同应用场景需求的霍尔、磁阻、巨磁阻抗三代磁敏材料及芯片设计、制造工艺体系,具备智能磁传感芯片批产能力,并推进磁敏芯片在汽车电子、电网、智能制造领域的产业化应用。

研究方向

Research Directions