创新样板工厂

SiC及相关材料团队

SiC&Related Materials Group

SiC快速外延生长技术

发布日期：2023年11月20日
作者：SiC及相关材料团队

掌握SiC外延层的快速外延生长技术，解决高质量外延片量产过程中的均匀性和工艺稳定性等关键问题。