创新样板工厂

SiC及相关材料团队

SiC&Related Materials Group

知识产权

Intellectual Property
CN202010568239.4

降低外延片翘曲度的方法及其外延片

黄敏；杨军伟；陈蛟；宋华平；简基康；王文军；陈小龙
CN202021178328.X

SiC气相外延装置

陈蛟;杨军伟;宋华平;简基康;王文军;陈小龙
CN201911385064.7

SiC同质外延层的剥离方法

杨军伟;宋华平;陈蛟;简基康;王文军;陈小龙
CN201911367656.6

SiC晶片制造方法

陈蛟；宋华平；杨军伟；简基康；王文军；陈小龙