创新样板工厂

SiC及相关材料团队

SiC&Related Materials Group

知识产权

Intellectual Property
CN202220434344.3

可调压式研磨压块结构

宋华平；屈红霞；杨军伟；陈小龙
CN202023315788.5

SiC石墨件打磨工具

刘欢；杨军伟
CN202022611720.5

用于石墨件维护的操作箱

陈蛟；宋华平；杨军伟
CN202022520677.1

新型晶圆盒

刘欢；宋华平；杨军伟
CN202022522595.0

腐蚀晶圆样品托装置

郭松波；杨军伟；宋华平
CN202011189588.1

用于生长大尺寸外延片的石墨盘及其使用方法

杨军伟；宋华平；陈蛟；黄敏；王文军；简基康；陈小龙
CN202011194799.4

半导体晶圆外延生长装置及其工作方法

杨军伟；宋华平；陈蛟；黄敏；王文军；简基康；陈小龙
CN202011194796.0

低平坦度晶圆激光加工的吸附装置及方法

杨军伟；宋华平；陈蛟；黄敏
CN202010506287.0

提高SiC晶圆平整度的方法

宋华平；杨军伟；陈蛟；简基康；王文军；陈小龙
CN202021152546.6

去除晶圆表面汞残留处理装置

黄敏；陈蛟；杨军伟；宋华平；简基康；王文军；陈小龙