摘要：本发明公开了一种用于生长大尺寸外延片的石墨盘及其使用方法，石墨盘包括石墨盘基座，石墨盘基座的中心区域设有放置区，该放置区的边缘位置设有若干周期性斜面凹槽和若干周期性凸起，该周期性凸起和周期性斜面凹槽沿所述放置区的外形轮廓线排列。本发明通过在放置区的边缘位置设有周期性斜面凹槽和周期性凸起,可显著减少晶圆边缘与石墨盘的粘接，大大提高尤其是厚膜外延片生长完后取片的便捷性，降低晶圆边缘的损伤；同时周期性斜面凹槽结构不仅可以增加边缘气流的流动性，减少甚至消除气体湍流，让晶圆的径向温场更均匀，提高了外延片径向均匀性，提升产品质量，另外整体结构简单，成本低，操作使用简易，易于实现，利于广泛推广应用。