摘要：本实用新型公开了一种新型晶圆盒，其包括托盘、底盒和盒盖，托盘通过固定件设置在底盒内，托盘的周缘位置呈圆心对称设有若干托爪，底盒的侧壁上设有开口，盒盖的内顶面设有曲面凹陷。本实用新型的底盒上设有开口，方便真空吸笔快速取放晶圆，有效简化了真空吸笔取放片的操作流程，避免了操作失误对晶圆造成不必要的损伤；而且托盘通过固定件安装在盒盖内，定位效果好，通过托盘可以防止晶圆滑动，降低了重复将晶圆复位带来的工作量，同时也避免晶圆接触底盒底面，大大地降低了被污染的风险；盒盖具有曲面凹陷，进一步减少盒盖与晶圆触碰带来的污染，另外托爪的末端垂直高度低于底盒的盒壁高度，通过盒壁的阻挡，有效降低晶圆因倾斜易从底盒中滑落掉出的风险。