摘要：本发明公开了一种低平坦度晶圆激光加工吸附装置及其方法，吸附装置包括吸盘、气体吹扫装置、真空发生器、电源和冷却器。所述吸盘设有加热装置，用于对晶圆进行吸附和加热；所述气体吹扫装置用于对激光加工后的晶圆进行气体吹扫降温；所述真空发生器用于连接吸盘，使吸盘产生负压吸附晶圆；所述电源用于为加热装置提供电能。本发明在晶圆的激光加工工序中进行高温处理，使得低平坦度晶圆在受到局部加工时内应力不会被急剧释放，避免了低平坦度晶圆在激光加工过程中出现裂片的严重问题。相比于传统的单纯真空吸附固定方式，有效降低激光加工低平坦度晶圆的裂片率，提高晶圆的激光加工质量和良率，利于广泛推广应用。