创新样板工厂

SiC及相关材料团队

SiC&Related Materials Group

Characterization of morphological defects related to micropipes in 4H-SiC thick homoepitaxial layers

发布日期：2023年11月15日

作者：SiC及相关材料团队

Junwei Yang, Huaping Song, Jikang Jian, Wenjun Wang, Xiaolong Chen