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SiC及相关材料团队

SiC&Related Materials Group

SiC外延片中降低应力和翘曲的方法

发布日期：2023年11月20日
作者：SiC及相关材料团队

掌握降低SiC外延片中晶圆应力及翘曲的方法，提高外延片质量，满足高压/超高压SiC功率器件的制造要求。