创新样板工厂

SiC及相关材料团队

SiC&Related Materials Group

SiC外延层中缺陷的产生/消除及扩张/转换的机理研究

发布日期：2023年11月20日
作者：SiC及相关材料团队

研究SiC外延层中的缺陷性质，降低其缺陷密度，提高载流子寿命，满足SiC功率器件的制造工艺要求。