产品展示 – 高效晶硅电池团队

一，Fast3D形貌量测仪

产品链接：http://www.sinoprime.com.cn/Product/Fast3DTopographyMeasuringInstrument.html

FAST-3D是一款功能强大、操作简便、且具有知识产权的三维形貌量测设备，该设备基于激光技术获取的高精度测量数据，同时结合先进的算法处理和专业的软件设计，实现了数据的三维可视化，且具有高精度及高稳定性，特别适合品质和工艺人员便捷使用！

1.高速高效
- 采用三维激光轮廓测量仪，同等条件下比三坐标设备快8-10倍；
- 对于大行程和多测量参数的项目，优势尤其显著；
2.简单易上手
- 一键建立模板、数据报表、一键导出；
- 非编程式操作；对操作者友好；
- 适用于PCB/半导体/碳化硅涂层器件行业；应用方向：品质管控和工艺分析；
3.无损检测
- 主要采用了全光非接触式手段，检测无损伤，特别适用于洁净度要求高的半导体产品；
4.高精度高稳定性
- 采用高精度光学传感器和精密运动平台，自动化操作软件和先进算法进行数据处理，从而实现了高性能和高稳定测量；
5.复合式
- 可以集成为复合式测量，针对不同的样品测量需求，可加装二维影像仪，接触式探针、点激光等可选配件，进行复合式测量。从而实现了多功能和大尺寸兼顾；
- 二维mapping图和三维立体模型映射可视化；
6.缺陷检测和识别
- 能有效识别各种颗粒物和缺陷；
- 异常位置输出；

二，Rimage面反射率检测仪

产品链接：http://www.sinoprime.com.cn/Product/RimageSurfaceReflectivityTester.html

R-image检测仪是一款多功能检测仪器，具有检测整个硅片表面的反射率、膜厚和侧面绕镀的功能。R-image检测仪不仅能够精确检测硅片上一个任意小区域的反射率、膜厚，而且还能根据客户的需求，显示指定区间的反射率、膜厚，可以将反射率、膜厚的具体分布情况和占比同时展示出来。R-image检测仪支持将客户所需要的数据和图片保存到指定的文件夹。通过选择不同的模式可以支持单晶、多晶多种类型的硅片检测。

三、MOCVD 耗材综合表征系统

产品链接：http://www.sinoprime.com.cn/product/mocvdshow.html

MOCVD 耗材综合表征系统是利用一款利用激光光束测量反射率、发射率和材料表面物理性质等的表征设备，能够进行特殊识别和颜色映射，能有效识别因CVD工艺产生的涂层隐裂和各种缺陷。

识别表面沾污、缺陷；
通过数据模型，来预测涂层的有效寿命和优异，通过与实际工艺环境，反馈工艺参数的优异性；
测量表面的反射率和发射率，光强等物理量；

四，Square-R方阻测量仪

产品链接：http://www.sinoprime.com.cn/product/Square-R.html

Square-R方阻测量仪是一款非接触式、基于涡流法原理的方阻测量设备，能够测量晶圆片、光伏硅片等样品。

无损检测且检测速度快；
可检测厚度（可测厚度的面分布情况和前后厚度变化）和缺陷；
可输出整体方阻面分布mapping图；
集成化设计，可进行运动扫描；

销售联系方式：17327892390
联系地址：广东省松山湖国际创新创业社区A1栋
公司官网（产品网站）：http://www.sinoprime.com.cn/
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