产业化进展：目前已研制成功，应用方向为：半导体和光伏行业。
主要应用在光伏制造的硅片方阻检测、半导体用的各种外延片和薄膜电阻检测，精密陶瓷，完全替代四探针所不能检测的样品：
Square-R方阻测量仪是一款非接触式、基于涡流法原理的方阻测量设备，能够测量晶圆片、光伏硅片等样品。
- 无损检测且检测速度快；
- 可检测厚度（可测厚度的面分布情况和前后厚度变化）和缺陷；
- 可输出整体方阻面分布mapping图；
- 集成化设计，可进行运动扫描；
产业化进展：目前已研制成功，应用方向为：半导体和光伏行业。
主要应用在光伏制造的硅片方阻检测、半导体用的各种外延片和薄膜电阻检测，精密陶瓷，完全替代四探针所不能检测的样品：
Square-R方阻测量仪是一款非接触式、基于涡流法原理的方阻测量设备，能够测量晶圆片、光伏硅片等样品。