产业化进展：目前已经和多个半导体CVD设备使用商进行合作验证开发！

主要应用在MOCVD设备耗材件的裂纹和寿命预测上，如下：

MOCVD 耗材综合表征系统是利用一款利用激光光束测量反射率、发射率和材料表面物理性质等的表征设备，能够进行特殊识别和颜色映射，能有效识别因CVD工艺产生的涂层隐裂和各种缺陷。

• 识别表面沾污、缺陷；
• 通过数据模型，来预测涂层的有效寿命和优异，通过与实际工艺环境，反馈工艺参数的优异性；
• 测量表面的反射率和发射率，光强等物理量；

产品链接：http://www.sinoprime.com.cn/product/mocvdshow.html